XD770.300 系列大負載壓電納米定位臺

XD770.300 系列大負載壓電納米定位臺

壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，可集成于各 類高精密裝備，為其提供納米級運動控制，且應用非常廣泛。

XD770.300 系列壓電納米定位臺為 Z 軸方向的運動平臺，行程可達 300μm，負載可達5kg，實現(xiàn)行程范圍和負載能力的雙提升，為同時有大行程、 大負載應用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器，分辨率高、 響應速度快。

產(chǎn)品特點

Z 向運動

行程達 300μm

承載達 5kg

參數(shù)可定制

可定制真空版本

典型應用

顯微掃描

光路調(diào)整

納米操控技術(shù)

激光干涉

納米光刻

生物科技

光通信

納米測量

顯微操作

納米壓印